北方華創正式推出NMC612G 12英寸金屬刻蝕機 助力多領域刻蝕工藝發展

    在2020年SEMICON CHINA展覽會上,北方華創正式發布了NMC612G 12英寸金屬刻蝕機。該設備具有優秀的刻蝕均勻性調節能力與良好的顆粒管控能力,可滿足集成電路、功率半導體、矽基微顯示等領域的金屬刻蝕需求。

    NMC612G 12英寸金屬刻蝕機是電感耦合高密度等離子體幹法刻蝕機,具有多種均勻性控製手段,如電流分布控製技術、氣體比例控製技術、靜電卡盤溫控技術等,為客戶提供了多種均勻性調節選擇,拓寬了工藝空間。其中,靜電卡盤及傳輸係統不但適用於常規矽片的傳輸,也適用於不同領域的玻璃片、SOG片等晶圓的傳輸及吸附,可多元化滿足各領域多種需求。此外,針對刻蝕後殘留氣體導致的金屬腐蝕問題,該設備采用微波去膠技術,利用O2產生等離子體,可以較高的速率實現不同金屬刻蝕後PR掩膜的去除,並保證金屬長期存放過程中不被腐蝕。

  


    目前NMC612G金屬刻蝕機已經成功進入集成電路、功率半導體、矽基微顯示等領域的多家生產線,其良好的工藝性能和更低的擁有成本,正在助力客戶大規模量產。未來,北方華創也將繼續聚焦行業前沿,緊跟市場需求,“以客戶需求為導向”,持續推進新設備進入多方領域市場,引領刻蝕工藝發展。


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